投稿|半导体生产系统的春天来了( 二 )
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FAB300功能与工作流 。来源：应用材料公司
进入21世纪后 ， 专门的MES系统提供商开始出现 ， 比如IBM ， 提供了SIView的解决方案 。SIView可能是目前唯一可以与应用材料一较高下的半导体MES系统 。
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SIView在产品生产是链接ERP和客制化的环节 。来源：IBM
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SIView的硬件架构 。来源：IBM
12英寸晶圆是目前产能最大的类型 ， IC Insights预测今年12英寸晶圆全球产能会占到71% 。目前 ， 国际上绝大部分的12英寸晶圆的生产系统由应用材料公司和IBM提供 。4-8英寸晶圆厂则多使用PROMIS 。现阶段 ， 应用材料和IBM成为半导体MES领域两大绝对霸主 。
由于半导体行业自动化程度比较高 ， 所以各个公司都会配备相应的MES系统 。但是有一些公司仍然在使用自己开发的MES系统 ， 而大部分已经趋向于购买专门的MES软件 ， 成为一种趋势 。
由于MES购置周期很长 ， 企业在购买后短时间内不会更换系统 ， 这给刚刚崭露头角的国产公司造成不小障碍 。但是 ， 在不断扩大的中国半导体市场前提下 ， 自研MES在国内也有了不小的起色 。
国产走出狭路提到国产半导体MES ， 就绕不开上扬软件 ， 成立于2001年的上扬软件是国内最早研究MES系统的一批公司 。本月2日 ， 上扬软件完成了数亿元C2轮融资 。今年5月 ， 华为哈勃同样入股上扬软件 ， 认缴8%股份 。
myCIM是上扬软件在半导体领域的主要MES产品 ， 拥有产品工艺规划（PRP）、花篮管理(CMS)、工艺菜单管理(RCP)等模块 。myCIM从最初的1.0版本进化为最新4.0版本 。myCIM4.0攻入12英寸晶圆市场 ， 弥补了国内12英寸晶圆MES系统产品空缺 。
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myCIM的硬件架构 。来源：上扬软件
上扬软件公司官网显示 ， 公司MES产品覆盖了半导体衬底材料、前道晶圆制造、后道封装测试在内的多个环节 。2000年时 ， 上扬软件为绍兴华越微电子有限公司开发的5英寸晶圆厂MES ， 华越在当年上线使用了这套系统 ， 后来这套最初的国内MES系统被上海新进半导体6英寸产线引入 ， 自此 ， 上扬软件的这套系统成为首先完成完全商品化的MES软件之一 。目前 ， 上扬软件的MES软件已经被中芯国际、士兰微、华虹、格科微、华天等公司使用 。
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